征地程序违法的处罚措施
行政处罚
责令限期改正：县级以上人民政府土地主管部门会要求违法征地的主体在规定时间内纠正其违法行为。
没收违法所得：若违法征地过程中有违法所得，相关部门将依法予以没收。
罚款：除了没收违法所得外，还可能对违法征地主体处以罚款。
行政责任
处分：对于直接负责的主管人员和其他直接责任人员，若其行为构成违法征地，将依法给予行政处分。
刑事责任
依法追究刑事责任：若违法征地行为构成犯罪，将依法追究刑事责任。
赔偿责任
行政赔偿：若违法征地行为给被征地人造成损失，征地主体需依照《国家赔偿法》的规定承担赔偿责任。
其他处罚措施
通报批评：上级或本级政府可能会对违法征地行为进行通报批评。
责令改正：违法征地主体将被要求在限期内改正其违法行为。
结论
征地程序违法的处罚措施包括行政处罚、行政责任、刑事责任和赔偿责任。具体的处罚方式会根据违法的性质、严重程度、涉及范围及造成的后果等因素综合考虑。被征地人如遇到违法征地行为，可申请行政复议或提起行政诉讼，以维护自身合法权益。同时，征地主体必须按照法定程序履行义务，否则将面临相应的法律责任。
